داستان ما
تجربه تحقیقات کاربردی
طراحی، ساخت، مشخصه یابی و شبیه سازی انواع چشمه های پلاسما و پرتو ذرات باردار
- طراحی و شبیه سازی دستگاه لایه نشانی پلاسمای ECR
- طراحی، ساخت و شبیه سازی کاتد مگنترون اسپاترینگ 3-اینچ و 2-اینچ
- شبیه سازی حرکت الکترون در منبع تبخیر پرتو الکترونی 270 درجه
- طراحی، ساخت و شبیه سازی نمونه آزمایشگاهی چشمه یون DC و RF
- بررسی تجربی نظریه استخراج در چشمه یون
- طراحی و ساخت فنجان فارادی و مشخصه یابی پرتو یون
- شبیه سازی رفتار پرتو یون در سامانه استخراج چندروزنه ای
- طراحی سیستم زدایش عمیق ICP-RIE
ادامه تجربیات از 1395 تا کنون
- بررسی عملکرد تفنگ الکترونی بسامد رادیوئی فوتوکاتد
- راه اندازی سیستم خلأ و تفنگ الکترونی شتابدهنده خطی الکترون
- شبیه سازی چشمه یون ECR
- شبیه سازی لنز پلاسمایی
- شبیه سازی کاتد مگنترون مستطیلی
طراحی ارزش
نیاز سنجی، ایده پردازی، طراحی مفهومی
نیازهای جامعه پژوهشی فعال در حوزه لایه نازک
- تولید لایه نازک با کیفیت بالاتر
- تولید چندلایه ای ها و آلیاژها
راهکار پیشنهادی برای رفع نیازهای مشتریان
- استفاده از فناوری چشمه یون برای بهبود کیفیت لایه نازک تولیدشده با روشهای متداول
- استفاده از فناوری چشمه یون برای کندوپاش همزمان یا ترتیبی تارگتها
خلق ارزش
تولیدِ
اولین دستگاه لایه نشانی پرتو یون در ایران
و کاملترین و پیشرفته ترین پلتفرم رسوب فیزیکی بخار
با قابلیتِ
نصب انواع تجهیزات لایه نشانی و اجرای روشهای لایه نشانی متدوال و پیشرفته
IONEX-700
ویژگی های دستگاه
- محفظه خلا استیل با حجم تقریبی 350 لیتر فشار نهایی 0.00001 میلی بار در زمان 40 دقیقه
- مکانیزم دسترسی به درون محفظه از طریق درب جلوسه عدد دریچه دید قطر 140 میلیمتر روی دیواره ها و درب محفظه
- سیستم کنترل پیشرفته PLC و نمایشگر HMIایمنی دستگاه در برابر بروز خطاهای انسانی و مشکلات فنی
- نرمافزار ویژه سیستم با قابلیتهای متعددکنترل خودکار عملکرد سیستم و مشاهده برخط وضعیت زیرمجموعه ها
تجهیزات دستگاه
- چهار عدد چشمه یون با حداکثر قطر پرتو 12 سانتیمتر
- نگهدارنده تارگت با قابلیت نصب چهار تارگت 6-اینچ
- نگهدارنده نمونه با قابلیت نصب چهار نمونه 8-اینچ
- دو عدد کاتد کندوپاش مگنترونی 4-اینچ
- منبع تبخیر الکترونی 4-بوته ای
- دو عدد منبع تبخیر مقاومتی
- سه عدد گرمکن تابشی
- سه عدد ضخامت سنج کریستالی
- انواع شاترهای محافظ برای تجهیزات، تارگتها، نمونه ها و بوتها
روشهای متداول
- لایه نشانی تبخیر مقاوتیThermal Evaporation
- لایه نشانی تبخیر الکترونیElectron Beam Evaporation
- لایه نشانی کندوپاش مگنترونیMagnetron Sputtering
روشهای پیشرفته
- لایه نشانی روشهای رایج به کمک پرتو یونIon Beam Assisted Deposition
- لایه نشانی کندوپاش پرتو یونIon Beam Sputter Deposition
- لایه نشانی کندوپاش پرتو یون دوگانهDual Ion Beam Sputter Deposition
- لایه نشانی مستقیم پرتو یونDirect Ion Beam Deposition
- تمیز کاری پرتو یونIon Beam Cleaning
- زدایش پرتو یونIon Beam Etching
مزایا
Ion Beam Assisted Deposition
لایه نشانی به کمک پرتو یون
تمیزکاری اولیه زیرلایه
افزایش چسبندگی لایه نازک به زیرلایه
افزایش چگالی لایه نازک
بهبود مورفولوژی سطح لایه نازک
Ion Beam Sputter Deposition
لایه نشانی کندوپاش پرتو یون
تفکیک فرآیندهای تولید پلاسما، استخراج یون، اسپاترینگ و لایه نشانی
کنترل مستقل پارامترهای پرتو یون شامل جریان، انرژی، زاویه فرود و …
بهرهوری بالای مصرف تارگت و یکنواختی لایه نشانی
لایه نشانی طیف وسیعی از مواد فلزی، دی الکتریکی، نیمه هادی، سرامیک و فرومغناطیس
لایه نشانی واکنش پذیر با یونهای پرانرژی
تولید لایه نازک با چگالی و خلوص بالا
دقت بالا در کنترل نرخ لایه نشانی و ایجاد ضخامتهای چند نانو
توليد چندلايهايها با دقت بالا
کاربردها
محصولات
سیستم
تجهیزات مدلهای مختلف دستگاه لایه نشانی پرتو یون
زیرسیستم
مشخصات چشمه یون
- مولد یون:پلاسمای کاتد فیلامان یا پلاسمای جفت شده القایی
- نوع یون: یون گازهای بی اثر و واکنش پذیر
- بیشینه قطر پرتو یون: 12 سانتیمتر
- بیشینه جریان پرتو یون: 400 میلی آمپر
- بیشینه انرژی پرتو یون: 1200 الکترون ولت
- سیستم استخراج یون: 3-توری به شکل تخت
- سیستم خنثی ساز بارفضا: فیلامان
- سیستم خنک¬کننده: آبگرد
- سیستم گازدهی: شیر سوزنی
- منبع تغذیه پرتو: دی سی متغیر 1000+ ولت 500 میلی آمپر
- منبع تغذیه شتاب دهنده: دی سی متغیر 1000- ولت 100 میلی آمپر
- منبع تغذیه پلاسمای کاتد فیلامان: دی سی متغیر 60 ولت 5 آمپر و ای سی متغیر 70 ولت 30 آمپر
- منبع تغذیه پلاسمای جفت شده القایی: مولد بسامد رادیویی 300 وات بهمراه جعبه تطبیق امپدانس خودکار
- منبع تغذیه خنثی ساز: ای سی متغیر 70 ولت 30 آمپر
- شاتر محافظ با کنترل دستی توسط فیدتروی چرخشی
- انواع فیدتروهای الکتریکی، آب و گازکنترل کننده شار جرمی
محصولات سفارشی
اگر به دنبال یک محصول خاص مرتبط با فناوریهای خلا و پلاسما هستید با ما تماس بگیرید.
خدمات تخصصی
لایه نشانی
خدمات لایه نشانی بزودی راه اندازی می شود
لایه نشانی مواد فلزی
لایه نشانی مواد دی الکتریک
لایه نشانی چند لایه ای و آلیاژ
ساخت
ساخت قطعات و تجهیزات مرتبط با سیستمهای خلا و پلاسما
ساخت محفظه خلا
قطعه سازی
…
مشاوره
مشاوره فنی طرحهای تحقیقاتی و پروژه های صنعتی
مشاوره پروژه های مرتبط با فناوری خلا
مشاوره پروژه های مرتبط با فناوری پلاسما
مشاوره پروژه های مرتبط با لایه نشانی
طراحی
طراحی انواع چشمه های پلاسما و پرتو ذرات باردار
طراحی مفهومی
طراحی مهندسی و تهیه نقشه های ساخت
…
شبیه سازی
مدل سازی انواع چشمه های پلاسما و پرتو ذرات باردار
شبیه سازی با COMSOL
شبیه سازی با ANSYS
شبیه سازی با CST
آموزش
برگزاری دوره های آموزشی مقدماتی و پیشرفته
دوره های آموزشی فناوری خلا
دوره های آموزشی فناوری پلاسما
دوره های آموزشی لایه نشانی
رویدادها
یازدهمین دوره نمایشگاه تجهیزات، مواد آزمایشگاهی و تست و آزمون پیشرفته ایران ساخت
12 تا 15 دیماه سال جاری در محل نمایشگاه بینالمللی تهران برگزار خواهد شد.
غرفه شرکت : سالن خلیج فارس، طبقه همکف، غرفه 11
جهت آشنایی با محصولات ما و آگاهی از قیمتها از صفحه اختصاصی شرکت ما در نمایشگاه بازدید نمایید.
همکاری
در صورت تمایل به همکاری، بنویسید
شما چه ارزشی را میتوانید بیآفرینید؟
هرگونه درخواست را از طریق ایمیل ارسال نمائید.
ثبت سفارش
هرگونه درخواست را از طریق ایمیل ارسال نمائید.
تماس
02176251737
info@plasmaparto.com
تهران، کیلومتر 20 جاده دماوند، پارک فناوری پردیس، ساختمان فن بازار، واحد 1209
